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重結(jié)晶碳化硅燒結(jié)爐
重結(jié)晶碳化硅燒結(jié)爐的用途:
用于重結(jié)晶碳化硅的高溫?zé)Y(jié)和高溫?zé)崽幚怼?/span>
重結(jié)晶碳化硅燒結(jié)爐的特點(diǎn):
1.高溫可達(dá)2500℃,且可在2400℃高溫下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作;
2.爐型有上裝料,下裝料、真空或氣氛保護(hù)等多種選擇;
3.爐體雙層水冷,密封性好,全密封結(jié)構(gòu),帶真空抽氣系統(tǒng)和氬氣置換系統(tǒng),保護(hù)了爐體內(nèi)氣體的純度;
4.IGBT節(jié)能省電,采用立式真空感應(yīng)加熱方式,加熱效率高,節(jié)能省電。
5.空載:升溫速率高達(dá)600℃/h;
6.產(chǎn)品生產(chǎn)周期短,從入爐到出爐時(shí)間只需要24h-36h(大爐時(shí)間長(zhǎng));
7.采用紅外測(cè)溫技術(shù),PID分段程序控制升溫曲線(xiàn)??販鼐_,誤差小。
8.安全性高,采用雙層不銹鋼爐殼,夾層通水冷卻,爐外殼溫度低于50℃。帶有氣壓,水壓和高溫報(bào)警,同時(shí)備有超壓泄氣裝置。
9.采用人機(jī)工控觸摸屏進(jìn)行操控和溫度記錄,操作方便又實(shí)用。
10.可根據(jù)工藝需要加裝多級(jí)過(guò)濾系統(tǒng),能有效的保護(hù)真空機(jī)組。
11.一機(jī)多爐模塊組合結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)一機(jī)配多爐。
重結(jié)晶碳化硅燒結(jié)爐的配置:
控制柜與爐體組合:一機(jī)一爐/一機(jī)二爐/一機(jī)四爐/一機(jī)六爐U
爐體結(jié)構(gòu):立式上開(kāi)蓋裝料,立式下開(kāi)蓋裝料
爐門(mén):絲杠升降/液壓升降/手動(dòng)升降;手動(dòng)鎖緊
爐殼:內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽:石墨氈/復(fù)合硬氈
工作溫度:1600/2000/2400
工作氣氛:高真空/低真空/氫氣保護(hù)/惰性氣體保護(hù)
加熱器:鎢/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
真空泵、真空計(jì)和紅外測(cè)溫儀:進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
中頻電源:IGBT/KGPS
人機(jī)界面:觸摸屏/工控機(jī)
PLC:歐姆龍/西門(mén)子
控溫儀表:日本島電/英國(guó)歐陸/國(guó)產(chǎn)宇電
記錄儀:無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
電器元件:正泰/施耐德/西門(mén)子